項目組開發(fā)的產品屬微電子技術裝備，為我國的極大規(guī)模集成電路產業(yè)提供達到國際一流水準的創(chuàng)新型核心裝備。產品已經廣泛應用于高校科研院所的半導體工藝設備，如清華大學、香港理工大學、北京師范大學等等，而且正在逐步進入中國的IC裝備業(yè)，目前已經與北方微電子、中微半導體、沈陽拓荊、七星華創(chuàng)建立了合作關系，即將為這些國內頂級IC廠商提供達到國際一流水準的創(chuàng)新型固態(tài)射頻電源，提升這些廠商整機設備的本土產品配套率。
