高端裝備制造
一種用于雙光子聚合加工的三維橢圓運(yùn)動工作臺
本發(fā)明涉及一種用于雙光子聚合加工的三維橢圓運(yùn)動工作臺,屬于超精密加工領(lǐng)域。由X向、Y向、Z向三個壓電疊堆驅(qū)動具有柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)的工作臺,可實(shí)現(xiàn)X、Y、Z三個方向的微動,三個壓電疊堆分別由預(yù)緊螺釘進(jìn)行預(yù)緊,工作臺的各個方向由單獨(dú)的壓電疊堆驅(qū)動,避免了其他方向運(yùn)動對該驅(qū)動方向的擾動;對三個壓電疊堆通以頻率相同而相位差不為零的驅(qū)動信號,可以實(shí)現(xiàn)工作臺在空間的二維橢圓運(yùn)動或三維橢圓運(yùn)動,通過控制橢圓運(yùn)動參數(shù),可調(diào)整橢圓的方位和大小,工作臺X向、Y向的柔性鉸鏈采用直梁式鉸鏈?zhǔn)孜蚕噙B組合而成;本發(fā)明涉及的工作臺加工簡單,體積較小且有較好的載物空間,可實(shí)現(xiàn)高頻、連續(xù)的三維橢圓運(yùn)動。
長春工業(yè)大學(xué)
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