| 專利名稱 | 一種二維輔助振動的壓印裝置 | ||
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| 申請?zhí)?專利號 | CN201820504453.1 | 專利權人（第一權利人） | 長春工業(yè)大學 |
| 申請日 | 2018-04-11 | 授權日 | 2018-10-26 |
| 專利類別 | 實用新型 | 戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)分類 | 高端裝備制造 |
| 技術主題 | 非彈性變形|計算機工程|抗蝕劑|工作站|風冷|剪切變形|電熱板|鍍膜 | ||
| 應用領域 | 光機械設備 | ||
| 意向價格 | 具體面議 | ||
| 專利概述 | 一種二維輔助振動的壓印裝置，其包括工作臺、XY軸位移臺、Z軸位移臺、二維微動平臺、壓印裝置、加熱板。涂膠后的襯底置于二維微動平臺上，XY軸位移臺將二維微動平臺移動到模板下方，加熱板對光刻膠進行預熱，光刻膠未達到玻璃化溫度，預熱完成后，啟動二維微動平臺并帶動襯底實現(xiàn)二維振動，Z軸位移臺控制壓印裝置對襯底進行壓印，壓印完成后在空氣中冷卻固化，最后進行振動輔助脫模，本實用新型采用二維微動平臺帶動襯底實現(xiàn)壓印時X軸、Y軸振動，使壓印過程產(chǎn)生剪切變形進而使光刻膠非彈性變形或流動，提高模板空腔的填充率，增強壓印圖案的保真度，提高壓印效率，降低脫模時的粘附力，對大尺寸特征以及高縱寬比的微結構壓印成型十分有利。 | ||
| 圖片資料 |
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| 合作方式 | 具體面議 | ||
| 聯(lián)系人 | 戚梅宇 | 聯(lián)系電話 | 13074363281 |
