2026年04月25日 星期六
| 專(zhuān)利名稱(chēng) | 一種振動(dòng)輔助的納米輥壓裝置 | ||
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| 申請(qǐng)?zhí)?專(zhuān)利號(hào) | CN201910617379.3 | 專(zhuān)利權(quán)人（第一權(quán)利人） | 長(zhǎng)春工業(yè)大學(xué) |
| 申請(qǐng)日 | 2019-07-10 | 授權(quán)日 | 2024-08-23 |
| 專(zhuān)利類(lèi)別 | 授權(quán)發(fā)明 | 戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)分類(lèi) | 高端裝備制造 |
| 技術(shù)主題 | 納米結(jié)構(gòu)|壓印|物理學(xué) | ||
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 光機(jī)械設(shè)備 | ||
| 意向價(jià)格 | 具體面議 | ||
| 專(zhuān)利概述 | 本發(fā)明涉及一種振動(dòng)輔助的納米輥壓裝置,首先，將機(jī)架水平放置于實(shí)驗(yàn)臺(tái)上，然后調(diào)節(jié)X?Y軸位移平臺(tái)使Z向振動(dòng)裝置位于壓印輥的正下方，再將已涂膠襯底固定于襯底卡盤(pán)中心，調(diào)節(jié)微調(diào)裝置使壓印輥水平，然后控制Z軸位移平臺(tái)下移使壓印輥與壓印膠微接觸，啟動(dòng)加熱裝置對(duì)襯底進(jìn)行加熱，加熱完畢后開(kāi)始?jí)河。瑝河⊥瑫r(shí)Z向振動(dòng)裝置開(kāi)始振動(dòng)，然后冷卻脫模，最后控制Z軸位移平臺(tái)上升，壓印結(jié)束。本發(fā)明中采用Z向振動(dòng)裝置，使模板與壓印膠之間產(chǎn)生間隙接觸，減少兩者之間的粘附力，通過(guò)多次間隙接觸進(jìn)行摩擦產(chǎn)熱，使得壓印膠融化流動(dòng)，提高壓印膠的填充度，再通過(guò)微調(diào)裝置調(diào)節(jié)壓印輥水平，冷卻裝置進(jìn)行降溫，進(jìn)一步提高微納結(jié)構(gòu)的精度與保真度。 | ||
| 圖片資料 |
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| 合作方式 | 具體面議 | ||
| 聯(lián)系人 | 戚梅宇 | 聯(lián)系電話(huà) | 13074363281 |
