專利名稱 一種可制備多級微結(jié)構(gòu)的裝置
申請?zhí)?專利號 CN202110249538.6 專利權(quán)人(第一權(quán)利人) 長春工業(yè)大學
申請日 2021-03-06 授權(quán)日 2024-07-12
專利類別 授權(quán)發(fā)明 戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)分類 高端裝備制造
技術(shù)主題 微觀結(jié)構(gòu)|固定框架|滑動觸點|底板
應用領域 光機械設備
意向價格 具體面議
專利概述 本發(fā)明涉及一種可制備多級微結(jié)構(gòu)的裝置,屬于納米壓印領域??缮灯脚_一固定在機架的左側(cè)板上,可升降平臺二固定在機架的右側(cè)板上,微調(diào)節(jié)裝置一通過螺釘固定在可升降平臺一上,微調(diào)節(jié)裝置二通過螺釘固定在可升降平臺二上,固定架左側(cè)通過螺釘與可升降平臺一連接、右側(cè)通過螺釘與可升降平臺二連接,壓印裝置通過圓柱卡扣與固定架滑動接觸,支撐臺通過螺釘固定在XY位移平臺上,XY位移平臺通過螺釘固定在機架的底板上。優(yōu)點是堆疊精度高,使光輥上的微結(jié)構(gòu)與平面襯底更好的線性接觸,提高了堆疊的精度;便于多層堆疊:能夠?qū)⒐廨伾蠅河『玫膯螌游⒔Y(jié)構(gòu)在平面襯底上進行不同層數(shù)的堆疊,使得制備多級微結(jié)構(gòu)不受裝置的限制。
圖片資料 一種可制備多級微結(jié)構(gòu)的裝置
合作方式 具體面議
聯(lián)系人 戚梅宇 聯(lián)系電話 13074363281