| 專利名稱 |
一種制造超大面積納米壓印無(wú)縫圖案的裝置及方法 |
| 申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào) |
CN201710990339.4 |
專利權(quán)人(第一權(quán)利人) |
長(zhǎng)春工業(yè)大學(xué) |
| 申請(qǐng)日 |
2017-10-22 |
授權(quán)日 |
2024-01-02 |
| 專利類別 |
授權(quán)發(fā)明 |
戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè)分類 |
材料化工 |
| 技術(shù)主題 |
機(jī)械工程|UV固化|光刻膠|紫外線|物理學(xué)|材料科學(xué) |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 |
照相制版工藝涂層設(shè)備|照相制版工藝曝光裝置|微光刻曝光設(shè)備 |
| 意向價(jià)格 |
具體面議 |
| 專利概述 |
本發(fā)明涉及一種制造超大面積納米壓印無(wú)縫圖案的裝置及方法,涉及紫外納米壓印領(lǐng)域。收卷輥用于將襯底卷收起來(lái),放卷輥用于放出襯底,滾筒壓印裝置位于收卷輥和放卷輥之間,收卷輥與放卷輥工作時(shí)保持同步旋轉(zhuǎn),涂膠裝置中含有光刻膠,用于在襯底上涂抹一層均勻的光刻膠,滾筒壓印裝置用于將壓印模板上的微小圖案壓印于涂完膠的襯底上,支撐輥一,支撐輥二,支撐輥三,支撐輥四,均為可透光的圓柱形,支撐輥二,支撐輥三,支撐輥四中均放置有紫外固化裝置。優(yōu)點(diǎn)是精確調(diào)控各模板以及紫外燈可固化的距離,能夠制造出超大面積的納米壓印無(wú)縫圖案,加入了多個(gè)壓印輥同時(shí)進(jìn)行壓印超大型圖案,提高了納米壓印的生產(chǎn)效率。 |
| 圖片資料 |
|
| 合作方式 |
具體面議 |
| 聯(lián)系人 |
戚梅宇 |
聯(lián)系電話 |
13074363281 |